現(xiàn)批準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》為國家標(biāo)準(zhǔn)，編號為GB 50073-2013，自2013年9月1日起實施。其中，第3.0.1(1、2、3)、4.2.3(1)、4.4.1、5.2.1、5.2.4、5.2.5、5.2.6、5.2.7、5.2.8、5.2.9、5.2.10、5.2.11、5.3.5、5.3.10、6.1.5、6.2.1、6.3.2、6.5.1、6.5.3、6.5.4、6.5.6、6.5.7(1)、6.6.2、6.6.6、7.3.2、7.3.3(1、4)、7.4.1、7.4.3、7.4.4、7.4.5(2)、8.1.1(4)、8.1.5、8.1.8、8.4.1、8.4.2(2、3)、8.4.3、9.2.2、9.2.5(1)、9.2.6、9.3.3、9.3.4、9.3.5、9.3.6、9.4.3、9.5.2、9.5.4、9.5.7條(款)為強制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。原國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073-2001同時廢止。 
    本規(guī)范由我部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國計劃出版社出版發(fā)行。

前言

    本規(guī)范是根據(jù)原建設(shè)部《關(guān)于印發(fā)<2002-2003年度工程建設(shè)國家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范制訂、修訂計劃>的通知》(建標(biāo)函〔2003〕102號)的要求，由中國電子工程設(shè)計院會同有關(guān)單位共同對《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073-2001修訂而成。
    本規(guī)范在修訂過程中，修訂組結(jié)合我國潔凈廠房設(shè)計建造和運行的實際情況，進行了廣泛的調(diào)查研究和測試，認(rèn)真總結(jié)了《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073-2001多年來實施的經(jīng)驗，廣泛征求了全國有關(guān)單位的意見，最后經(jīng)審查定稿。
    本規(guī)范共9章和3個附錄，主要內(nèi)容包括：總則、術(shù)語、空氣潔凈度等級、總體設(shè)計、建筑、空氣凈化、給水排水、工業(yè)管道、電氣等。
    本規(guī)范主要的修訂技術(shù)內(nèi)容是：修改了第2章術(shù)語;對第3章空氣潔凈度等級的相關(guān)內(nèi)容作了修改和補充;修改了第8章，更名為“工業(yè)管道”;修改了部分“強制性條文”為“非強制性條文”。
    本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。
    本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對強制性條文的解釋，由工業(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理，由中國電子工程設(shè)計院負(fù)責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋。在本規(guī)范執(zhí)行過程中如有意見或建議，請寄送中國電子工程設(shè)計院(地址：北京市海淀區(qū)萬壽路27號，郵政編碼：100840，傳真：010-68217842)，以便今后修訂時參考。
    本規(guī)范主編單位、參編單位、主要起草人和主要審查人：
    主編單位：中國電子工程設(shè)計院
    參編單位：信息產(chǎn)業(yè)部第十一設(shè)計研究院科技工程股份有限公司 中國石油化工集團上海醫(yī)藥工業(yè)設(shè)計院 中國建筑科學(xué)研究院
    主要起草人：陳霖新 張利群 王唯國 繆德驊 晁陽 趙海 俞渭雄 周春海 秦學(xué)禮 譚易和 賀繼行 肖紅梅 樊勖昌 張彥國 黃德明 牛光宏 冷捷敏 馮佩明
    主要審查人：涂光備 薛長立 王宗存 張洪雁 施紅平 李兆堅 葉鳴 孫志華 萬桐良

1 總則

1.0.1 為了使?jié)崈魪S房設(shè)計符合節(jié)約能源、勞動衛(wèi)生和環(huán)境保護的要求，做到技術(shù)先進、經(jīng)濟適用、安全可靠，確保潔凈廠房設(shè)計質(zhì)量，制定本規(guī)范。
1.0.2 本規(guī)范適用于新建、擴建和改建潔凈廠房的設(shè)計。
1.0.3 潔凈廠房設(shè)計應(yīng)是施工安裝、維護管理、檢修測試和安全運行的基礎(chǔ)。
1.0.4 潔凈廠房設(shè)計除應(yīng)符合本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

2 術(shù)語

2.0.1 潔凈室 clean room
    空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。
2.0.2 潔凈區(qū) clean zone
    空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子?？臻g內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。潔凈區(qū)可以是開放式或封閉式。
2.0.3 移動式潔凈小室 mobile clean booth
    可整體移動位置的小型潔凈室。有剛性和柔性材料圍擋兩類。
2.0.4 人身凈化用室 room for cleaning human body
    人員在進入潔凈區(qū)之前按一定程序進行凈化的房間。
2.0.5 物料凈化用室 room for cleaning material
    物料在進入潔凈區(qū)之前按一定程序進行凈化的房間。
2.0.6 粒徑 particle size
    給定的粒徑測定儀所顯示的、與被測粒子的響應(yīng)量相當(dāng)?shù)那蛐误w直徑。
2.0.7 懸浮粒子 airborne particle
    用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1μm～5μm的固體和液體粒子，但不適用于表征懸浮粒子的物理性、化學(xué)性、放射性及生命性。
2.0.8 超微粒子 ultrafine particle
    具有當(dāng)量直徑小于0.1μm的粒子。
2.0.9 微粒子 microparticle
    具有當(dāng)量直徑大于5μm的粒子。
2.0.10 粒徑分布 particle size distribution
    粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數(shù)。
2.0.11 含塵濃度 particle concentration
    單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。
2.0.12 潔凈度 cleanliness
    以單位體積空氣中大于或等于某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度。
2.0.13 氣流流型 air flow pattern
    對室內(nèi)空氣的流動形態(tài)和分布進行合理設(shè)計。
2.0.14 單向流 unidirectional airflow
    通過潔凈室(區(qū))整個斷面的風(fēng)速穩(wěn)定、大致平行的受控氣流。
2.0.15 垂直單向流 vertical unidirectional flow
    與水平面垂直的單向流。
2.0.16 水平單向流 horizontal unidirectional flow
    與水平面平行的單向流。
2.0.17 非單向流 non-unidirectional flow
    送入潔凈室(區(qū))的送風(fēng)以誘導(dǎo)方式與室(區(qū))內(nèi)空氣混合的氣流分布類型。
2.0.18 混合流 mixed airflow
    單向流和非單向流組合的氣流。
2.0.19 潔凈工作區(qū) clean working area
    除工藝特殊要求外，指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8m～1.5m的區(qū)域。
2.0.20 空氣吹淋室 air shower
    利用高速潔凈氣流吹落并清除進入潔凈室人員表面附著粒子的小室。
2.0.21 氣閘室 air lock
    設(shè)置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。
2.0.22 傳遞窗 pass box
    在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的窗口。兩側(cè)裝有不能同時開啟的窗扇。
2.0.23 潔凈工作臺 clean bench
    能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺。
2.0.24 潔凈工作服 clean working garment
    為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。
2.0.25 空態(tài) as-built
    設(shè)施已經(jīng)建成，其服務(wù)動力公用設(shè)施區(qū)接通并運行，但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員的狀態(tài)。
2.0.26 靜態(tài) at-rest
    設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝好，并按供需雙方商定的狀態(tài)運行，但無生產(chǎn)人員的狀態(tài)。
2.0.27 動態(tài) operational
    設(shè)施以規(guī)定的方式運行，有規(guī)定的人員在場，并在商定的狀態(tài)下進行工作。
2.0.28 已裝過濾器檢漏 installed filter system leakage test
    為確認(rèn)過濾器安裝良好、沒有向潔凈室(區(qū))的旁路滲漏，過濾器及其框架均無缺陷和滲漏所做的檢測。
2.0.29 高效空氣過濾器 high efficiency particulate air filter (HEPA)
    在額定風(fēng)量下，對粒徑大于或等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上的空氣過濾器。
2.0.30 超高效空氣過濾器 ultra low penetration air filter (ULPA)
    在額定風(fēng)量下，對粒徑0.1μm～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上的空氣過濾器。
2.0.31 純水 purity water
    對電解質(zhì)雜質(zhì)含量和非電解質(zhì)雜質(zhì)含量均有要求的水。
2.0.32 防靜電環(huán)境 antistatic environment
    能防止靜電危害的特定環(huán)境，在這一環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電，靜電產(chǎn)生后易于消散或消除，靜電噪聲難以傳播。
2.0.33 表面電阻 surface resistance
    在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。
2.0.34 體積電阻 volume resistance
    在材料的相對兩表面上放置的兩電極間所加直流電壓與流過兩電極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。該電流不包括沿材料表面的電流。
2.0.35 表面電阻率 surface resistivity
    在材料表面層的直流電場強度與穩(wěn)態(tài)電流線密度之商。
2.0.36 體積電阻率 volume resistivity
    在材料內(nèi)層的直流電場強度與穩(wěn)態(tài)電流密度之商。
2.0.37 專用消防口 fire-fight access
    消防人員為滅火而進入建筑物的專用入口，平時封閉，使用時由消防人員從室外打開。
2.0.38 自凈時間 recovery time of cleanliness
    潔凈室被污染后，凈化空調(diào)系統(tǒng)開始運行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級所需的時間。
2.0.39 生物潔凈室 biological clean room
    潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規(guī)定值內(nèi)的限定空間。
2.0.40 浮游菌 airborne viable bacteria
    懸浮在空氣中的帶菌微粒。
2.0.41 沉降菌 settlemen bacteria
    降落在培養(yǎng)皿上的帶菌微粒。
2.0.42 U描述符 U descriptor
    每立方米空氣中包括超微粒子的實測或規(guī)定濃度。U描述符不能規(guī)定懸浮粒子潔凈度等級，但它可與懸浮粒子潔凈度等級同時引述，也可以單獨引述。
2.0.43 M描述符 M descriptor
    每立方米空氣中實測的或規(guī)定的微粒子。M描述符不能規(guī)定懸浮粒子潔凈度等級，但它可與懸浮粒子潔凈度等級同時引述，也可以單獨引述。
2.0.44 工業(yè)管道 industrial pipe
    潔凈廠房內(nèi)，除給水排水管道和凈化空調(diào)、采暖通風(fēng)管道外的氣體、液體管道，統(tǒng)稱為工業(yè)管道。

3 空氣潔凈度等級

3.0.1 潔凈室及潔凈區(qū)內(nèi)空氣中懸浮粒子空氣潔凈度等級應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級應(yīng)按表3.0.1確定。

表3.0.1 潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級

注：按不同的測量方法，各等級水平的濃度數(shù)據(jù)的有效數(shù)字不應(yīng)超過3位。

    2 各種要求粒徑D的最大濃度限值C_n應(yīng)按下式計算：

式中：C_n——大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m³)。C_n是四舍五入至相近的整數(shù)，有效位數(shù)不超過三位數(shù);
      N——空氣潔凈度等級，數(shù)字不超過9，潔凈度等級整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為最小允許遞增量;
      D——要求的粒徑(μm);
      0.1——常數(shù)，其量綱為μm。
    3 當(dāng)工藝要求粒徑不止一個時，相鄰兩粒徑中的大者與小者之比不得小于1.5倍。
    4 空氣潔凈度等級的粒徑范圍應(yīng)為0.1μm～0.5μm，超出粒徑范圍時可采用U描述符或M描述符補充說明。
3.0.2 空氣潔凈度等級所處狀態(tài)包括空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)，空氣潔凈度等級所處狀態(tài)應(yīng)與業(yè)主協(xié)商確定。
3.0.3 空氣潔凈度的測試方法應(yīng)按本規(guī)范附錄A的要求進行。
3.0.4 當(dāng)潔凈室(區(qū))內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求控制微生物、化學(xué)污染物時，應(yīng)根據(jù)工藝特點對各空氣潔凈度等級規(guī)定相應(yīng)的微生物、化學(xué)污染物濃度限值。

4 總體設(shè)計
4.1 潔凈廠房位置選擇和總平面布置

4.1.1 潔凈廠房位置選擇應(yīng)符合下列規(guī)定，并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟方案比較后確定：
    1 應(yīng)在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域。
    2 應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場等有嚴(yán)重空氣污染、振動或噪聲干擾的區(qū)域。當(dāng)不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時，應(yīng)位于最大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)，或全年最小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)。
    3 應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔，人流、物流不穿越或少穿越的地段。
4.1.2 對于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應(yīng)實際測定周圍現(xiàn)有振源的振動影響，并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表容許振動值分析比較后確定。
4.1.3 潔凈廠房新風(fēng)口與交通干道邊沿的最近距離宜大于50m。
4.1.4 潔凈廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道，也可沿廠房的兩個長邊設(shè)置消防車道。
4.1.5 潔凈廠房周圍的道路面層應(yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。
4.1.6 潔凈廠房周圍應(yīng)進行綠化?？射佒膊萜海粦?yīng)種植對生產(chǎn)有害的植物，并不得妨礙消防作業(yè)。

5 建筑
5.1 一般規(guī)定

5.1.1 潔凈廠房的建筑平面和空間布局應(yīng)具有適當(dāng)?shù)撵`活性。主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不宜采用內(nèi)墻承重體系。
5.1.2 潔凈廠房圍護結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)符合保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵等要求。
5.1.3 潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調(diào)，并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。
5.1.4 送、回風(fēng)管和其他管線暗敷時，應(yīng)設(shè)置技術(shù)夾層、技術(shù)夾道或地溝等。穿越樓層的豎向管線需暗敷時，宜設(shè)置技術(shù)豎井，其形式、尺寸和構(gòu)造應(yīng)符合風(fēng)道、管線的安裝、檢修和防火要求。
5.1.5 對兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房的平面布局和構(gòu)造處理，應(yīng)避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產(chǎn)帶來不利的影響。

6 空氣凈化
6.1 一般規(guī)定

6.1.1 潔凈廠房內(nèi)各潔凈室的空氣潔凈度等級應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈要求。
6.1.2 應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級的不同要求，選用不同的氣流流型。
6.1.3 下列情況之一者，其凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置：
    1 運行班次或使用時間不同。
    2 生產(chǎn)工藝中某工序散發(fā)的物質(zhì)或氣體對其他工序的產(chǎn)品質(zhì)量有影響。
    3 對溫、濕度控制要求差別大。
    4 凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)。
6.1.4 潔凈室的溫、濕度范圍應(yīng)符合表6.1.4的規(guī)定。

表6.1.4 潔凈室的溫、濕度范圍

6.1.5 潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列兩項中的最大值：
    1 補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和。
    2 保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m³。
6.1.6 潔凈區(qū)的清掃宜采用移動式高效真空吸塵器，但空氣潔凈度等級為1級～5級的單向流潔凈室宜設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道應(yīng)暗敷，吸塵口應(yīng)加蓋封堵。
6.1.7 凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計對維護管理的要求應(yīng)符合本規(guī)范附錄C的規(guī)定。

7 給水排水
7.1 一般規(guī)定

7.1.1 潔凈廠房內(nèi)的給水排水干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，也可埋地敷設(shè)。潔凈室內(nèi)管道宜暗裝，與本房間無關(guān)的管道不宜穿過。
7.1.2 管道外表面可能結(jié)露時，應(yīng)采取防護措施。防結(jié)露層外表面應(yīng)光滑，易于清洗，并不得對潔凈室造成污染。
7.1.3 管道穿過潔凈室墻壁、樓板和頂棚時應(yīng)設(shè)套管，管道和套管之間應(yīng)采取可靠的密封措施。無法設(shè)置套管的部位也應(yīng)采取有效的密封措施。

7.2 給水

7.2.1 潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)符合生產(chǎn)、生活和消防等各項用水對水質(zhì)、水溫、水壓和水量的要求，并應(yīng)分別設(shè)置。管道的設(shè)計應(yīng)留有余量，以適應(yīng)工藝變動。
7.2.2 水質(zhì)要求較高的純水供水管道應(yīng)采用循環(huán)供水方式，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 循環(huán)附加水量應(yīng)為使用水量的30%～100%。
    2 干管流速應(yīng)為1.5m/s～3m/s。
    3 不循環(huán)的支管長度應(yīng)盡量短，其長度不應(yīng)大于6倍管徑。
    4 供水干管上應(yīng)設(shè)有清洗口。
    5 管道系統(tǒng)各組成部分應(yīng)密封，不得有滲氣現(xiàn)象。
7.2.3 管材選擇應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 純水管道的管材應(yīng)符合生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求，可選擇不銹鋼管或工程塑料管。
    2 工藝設(shè)備用循環(huán)冷卻給水和回水管可采用熱鍍鋅鋼管、不銹鋼管或工程塑料管等。
    3 管道配件應(yīng)采用與管道相應(yīng)的材料。
7.2.4 循環(huán)冷卻水管道應(yīng)預(yù)留清洗口。
7.2.5 潔凈廠房周圍應(yīng)設(shè)置灑水設(shè)施。

7.3 排水

7.3.1 排水系統(tǒng)應(yīng)符合工藝設(shè)備排出的廢水性質(zhì)、濃度和水量等要求。有害廢水應(yīng)經(jīng)廢水處理，達(dá)到國家排放標(biāo)準(zhǔn)后排出。
7.3.2 潔凈室內(nèi)的排水設(shè)備以及與重力回水管道相連接的設(shè)備，必須在其排出口以下部位設(shè)水封裝置，排水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)有完善的透氣裝置。
7.3.3 潔凈室內(nèi)地漏等排水設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 空氣潔凈度等級嚴(yán)于6級的潔凈室內(nèi)不應(yīng)設(shè)地漏。
    2 6級潔凈室內(nèi)不宜設(shè)地漏，如必須設(shè)置時，應(yīng)采用專用地漏。
    3 空氣潔凈度等級等于或嚴(yán)于7級的潔凈室內(nèi)不宜設(shè)排水溝。
    4 空氣潔凈度等級等于或嚴(yán)于7級的潔凈室內(nèi)不應(yīng)穿過排水立管，其他潔凈室內(nèi)穿過排水立管時不應(yīng)設(shè)檢查口。
7.3.4 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)采用不易積存污物、易于清洗的衛(wèi)生設(shè)備、管道、管架及其附件。
7.3.5 潔凈廠房宜設(shè)置消防排水設(shè)施。

7.4 消防給水和滅火設(shè)備

7.4.1 潔凈廠房必須設(shè)置消防給水設(shè)施，消防給水設(shè)施設(shè)置設(shè)計應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的火災(zāi)危險性、建筑物耐火等級以及建筑物的體積等因素確定。
7.4.2 潔凈廠房的消防給水和固定滅火設(shè)備的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。
7.4.3 潔凈室的生產(chǎn)層及可通行的上、下技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓。消火栓的用水量不應(yīng)小于10L/s，同時使用水槍數(shù)不應(yīng)少于2只，水槍充實水柱長度不應(yīng)小于10m，每只水槍的出水量應(yīng)按不小于5L/s計算。
7.4.4 潔凈廠房內(nèi)各場所必須配置滅火器，配置滅火器設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑滅火器配置設(shè)計規(guī)范》GB 50140的有關(guān)規(guī)定。
7.4.5 潔凈廠房內(nèi)設(shè)有貴重設(shè)備、儀器的房間設(shè)置固定滅火設(shè)施時，除應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定外，還應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 當(dāng)設(shè)置自動噴水滅火系統(tǒng)時，宜采用預(yù)作用式自動噴水滅火系統(tǒng)。
    2 當(dāng)設(shè)置氣體滅火系統(tǒng)時，不應(yīng)采用鹵代烷1211以及能導(dǎo)致人員窒息和對保護對象產(chǎn)生二次損害的滅火劑。

8 工業(yè)管道
8.1 一般規(guī)定

8.1.1 潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的敷設(shè)應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應(yīng)穿越無關(guān)的房間。
    2 干管應(yīng)敷設(shè)在上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。
    3 易燃、易爆、有毒物質(zhì)管道應(yīng)明敷。
    4 當(dāng)易燃、易爆、有毒物質(zhì)管道敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)時，必須采取可靠的濃度檢測報警、通風(fēng)措施。
8.1.2 潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道設(shè)計規(guī)范》GB 50316的有關(guān)規(guī)定。
8.1.3 工業(yè)管道設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 應(yīng)按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì)，合理確定管內(nèi)物料流速和管徑。
    2 在滿足生產(chǎn)工藝的條件下，管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短。
    3 應(yīng)避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。
    4 管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必需的吹除口、放凈口和取樣口。
8.1.4 工業(yè)管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應(yīng)有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施。
8.1.5 可燃?xì)怏w管道、氧氣管道的末端或最高點均應(yīng)設(shè)置放散管。放散管引至室外應(yīng)高出屋脊1m，并應(yīng)有防雨、防雜物侵入的措施。
8.1.6 氣體凈化裝置的選擇和配置應(yīng)符合氣源和生產(chǎn)工藝對氣體純度的要求。氣體終端凈化裝置宜設(shè)在鄰近用氣點處。
8.1.7 氣體過濾器的選擇和配置應(yīng)符合生產(chǎn)工藝對氣體潔凈度的要求。高純氣體終端過濾器應(yīng)設(shè)在靠近用氣點處。
8.1.8 潔凈廠房內(nèi)、生產(chǎn)類別為現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016規(guī)定的甲、乙類氣體、液體入口室或分配室的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 當(dāng)毗連布置時，應(yīng)設(shè)在單層廠房靠外墻或多層廠房的最上一層靠外墻處，并應(yīng)與相鄰房間采用耐火極限大于3.0h的隔墻分隔。
    2 應(yīng)有良好的通風(fēng)。
    3 泄壓設(shè)施和電氣防爆應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016、《爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

8.2 管道材料和閥門

8.2.1 工業(yè)管道材料和閥門應(yīng)根據(jù)所輸送物料的物化性質(zhì)和使用工況選用，并應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝的要求和使用特點，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定。
8.2.2 高純氣體管道和閥門的選用應(yīng)符合生產(chǎn)工藝的要求，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 當(dāng)氣體純度大于或等于99.999%，露點低于-76℃時，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管或內(nèi)壁光亮拋光的不銹鋼管。閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥。
    2 當(dāng)氣體純度大于或等于99.99%，露點低于-60℃時，應(yīng)采用內(nèi)壁光亮拋光的不銹鋼管。除可燃?xì)怏w管道宜采用波紋管閥外，其他氣體管道宜采用球閥。
8.2.3 當(dāng)干燥壓縮空氣露點低于-70℃時，應(yīng)采用內(nèi)壁光亮拋光的不銹鋼管;當(dāng)露點低于-40℃時，宜采用不銹鋼管或熱鍍鋅無縫鋼管。閥門宜采用波紋管閥或球閥。
8.2.4 閥門材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)相適應(yīng)。

8.3 管道連接

8.3.1 工業(yè)管道的連接應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 管道連接應(yīng)采用焊接，熱鍍鋅鋼管應(yīng)采用螺紋連接。
    2 不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊，以對接焊或承接焊連接;高純氣體管道宜采用內(nèi)壁無斑痕的對接焊。
8.3.2 管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備的連接要求。當(dāng)采用軟管連接時宜采用金屬軟管。
8.3.3 管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)根據(jù)輸送物料性質(zhì)、設(shè)計工況選擇，宜采用聚四氟乙烯等。
    2 高純氣體管道與閥門連接的密封材料應(yīng)按生產(chǎn)工藝和氣體特性的要求確定，宜采用金屬墊或雙卡套。
8.3.4 潔凈室(區(qū))內(nèi)的工業(yè)管道應(yīng)根據(jù)管子表面溫度和環(huán)境溫度、濕度確定保溫形式和構(gòu)造。冷管道保溫后的外表面溫度不應(yīng)低于環(huán)境的露點溫度。保溫層外表面應(yīng)采用不產(chǎn)生塵粒、微生物的材料，并應(yīng)平整、光潔，宜采用金屬外殼保護。

8.4 安全技術(shù)

8.4.1 下列部位應(yīng)設(shè)可燃?xì)怏w報警裝置和事故排風(fēng)裝置，報警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機連鎖：
    1 生產(chǎn)類別為甲類的氣體、液體入口室或分配室。
    2 管廊，上、下技術(shù)夾層，技術(shù)夾道內(nèi)有可燃?xì)怏w的易積聚處。
    3 潔凈室內(nèi)使用可燃?xì)怏w處。
8.4.2 可燃?xì)怏w管道應(yīng)采取下列安全技術(shù)措施：
    1 接至用氣設(shè)備的支管宜設(shè)置阻火器。
    2 引至室外的放散管應(yīng)設(shè)置阻火器，并應(yīng)設(shè)置防雷保護設(shè)施。
    3 應(yīng)設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。
8.4.3 氧氣管道應(yīng)采取下列安全技術(shù)措施：
    1 管道及其閥門、附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)格脫脂處理。
    2 應(yīng)設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。
8.4.4 工業(yè)管道應(yīng)按不同介質(zhì)設(shè)明顯的標(biāo)識。
8.4.5 各種氣瓶庫應(yīng)集中設(shè)置在潔凈廠房外。當(dāng)日用氣量不超過1瓶時，氣瓶可設(shè)置在潔凈室內(nèi)，應(yīng)采取不積塵和易于清潔的措施。

9 電氣
9.1 配電

9.1.1 潔凈廠房低壓配電設(shè)計應(yīng)采用220/380V。帶電導(dǎo)體系統(tǒng)的形式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地的形式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。
9.1.2 潔凈廠房的用電負(fù)荷等級和供電要求應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50052的有關(guān)規(guī)定和生產(chǎn)工藝要求確定。主要生產(chǎn)工藝設(shè)備應(yīng)由專用變壓器或?qū)Ｓ玫蛪吼侂娋€路供電，有特殊要求的工作電源宜設(shè)置不間斷電源(UPS)。凈化空調(diào)系統(tǒng)用電負(fù)荷、照明負(fù)荷應(yīng)由變電所專線供電。
9.1.3 潔凈廠房消防用電設(shè)備的供配電設(shè)計應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑防火設(shè)計規(guī)范》GB 50016有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。
9.1.4 電源進線應(yīng)設(shè)置切斷裝置，并宜設(shè)在潔凈區(qū)外便于管理的地點。
9.1.5 潔凈室內(nèi)的配電設(shè)備應(yīng)選擇不易積塵、便于擦拭的小型暗裝設(shè)備，不宜設(shè)置大型落地安裝的配電設(shè)備。
9.1.6 潔凈室內(nèi)的電氣管線宜暗敷，穿線導(dǎo)管應(yīng)采用不燃材料。潔凈區(qū)的電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設(shè)備與墻體接縫處應(yīng)有可靠的密封措施。

9.2 照明

9.2.1 潔凈室內(nèi)照明光源宜采用高效熒光燈。若工藝有特殊要求或照度值達(dá)不到設(shè)計要求時，可采用其他形式光源。
9.2.2 潔凈室內(nèi)一般照明燈具應(yīng)為吸頂明裝。當(dāng)燈具嵌入頂棚暗裝時，安裝縫隙應(yīng)有可靠的密封措施。潔凈室應(yīng)采用潔凈室專用燈具。
9.2.3 無采光窗的潔凈室(區(qū))的生產(chǎn)用房間一般照明的照度標(biāo)準(zhǔn)值宜為200lx～500lx，輔助用房、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等宜為150lx～300lx。
9.2.4 潔凈室內(nèi)一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0.7。
9.2.5 潔凈廠房內(nèi)備用照明的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置備用照明。
    2 備用照明宜作為正常照明的一部分。
    3 備用照明應(yīng)滿足所需場所或部位進行必要活動和操作的最低照度。
9.2.6 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定設(shè)置疏散標(biāo)志。在專用消防口處應(yīng)設(shè)置疏散標(biāo)志。

9.2.7 潔凈廠房中有爆炸危險的房間的照明燈具和電氣線路的設(shè)計，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。

9.3 通信

9.3.1 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置與廠房內(nèi)、外聯(lián)系的通信裝置。潔凈廠房內(nèi)生產(chǎn)區(qū)與其他工段的聯(lián)系宜設(shè)生產(chǎn)對講電話。
9.3.2 潔凈廠房根據(jù)生產(chǎn)管理和生產(chǎn)工藝特殊需要，宜設(shè)置閉路電視監(jiān)視系統(tǒng)。
9.3.3 潔凈廠房的生產(chǎn)層、技術(shù)夾層、機房、站房等均應(yīng)設(shè)置火災(zāi)報警探測器。潔凈廠房生產(chǎn)區(qū)及走廊應(yīng)設(shè)置手動火災(zāi)報警按鈕。
9.3.4 潔凈廠房應(yīng)設(shè)置消防值班室或控制室，并不應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)內(nèi)。消防值班室應(yīng)設(shè)置消防專用電話總機。
9.3.5 潔凈廠房的消防控制設(shè)備及線路連接應(yīng)可靠?？刂圃O(shè)備的控制及顯示功能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定。潔凈區(qū)內(nèi)火災(zāi)報警應(yīng)進行核實，并應(yīng)進行下列消防聯(lián)動控制：
    1 應(yīng)啟動室內(nèi)消防水泵，接收其反饋信號。除自動控制外，還應(yīng)在消防控制室設(shè)置手動直接控制裝置。
    2 應(yīng)關(guān)閉有關(guān)部位的電動防火閥，停止相應(yīng)的空調(diào)循環(huán)風(fēng)機、排風(fēng)機及新風(fēng)機，并應(yīng)接收其反饋信號。
    3 應(yīng)關(guān)閉有關(guān)部位的電動防火門、防火卷簾門。
    4 應(yīng)控制備用應(yīng)急照明燈和疏散標(biāo)志燈燃亮。
    5 在消防控制室或低壓配電室，應(yīng)手動切斷有關(guān)部位的非消防電源。
    6 應(yīng)啟動火災(zāi)應(yīng)急擴音機，進行人工或自動播音。
    7 應(yīng)控制電梯降至首層，并接收其反饋信號。
9.3.6 潔凈廠房中易燃、易爆氣體、液體的貯存和使用場所及入口室或分配室應(yīng)設(shè)可燃?xì)怏w探測器。有毒氣體、液體的貯存和使用場所應(yīng)設(shè)氣體檢測器。報警信號應(yīng)聯(lián)動啟動或手動啟動相應(yīng)的事故排風(fēng)機，并應(yīng)將報警信號送至消防控制室。

9.4 自動控制

9.4.1 潔凈廠房宜設(shè)置凈化空調(diào)系統(tǒng)等的自動監(jiān)控裝置。
9.4.2 潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)宜選用變頻調(diào)速控制的風(fēng)機。
9.4.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)的電加熱器應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫斷電保護裝置。當(dāng)采用電加濕器時，應(yīng)設(shè)置無水保護裝置。

9.5 靜電防護及接地

9.5.1 潔凈廠房應(yīng)根據(jù)工藝生產(chǎn)要求采取靜電防護措施。
9.5.2 潔凈室(區(qū))內(nèi)的防靜電地面，其性能應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 地面的面層應(yīng)具有導(dǎo)電性能，并應(yīng)保持長時間性能穩(wěn)定。
    2 地面的面層應(yīng)采用靜電耗散性的材料，其表面電阻率應(yīng)為1.0×10⁵Ω/□～1.0×10¹²Ω/□或體積電阻率為1.0×10⁴Ω·cm～1.0×10¹¹Ω·cm。
    3 地面應(yīng)設(shè)有導(dǎo)電泄放措施和接地構(gòu)造，其對地泄放電阻值應(yīng)為1.0×10⁵Ω～1.0×10⁹Ω。
9.5.3 潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)采取防靜電接地措施。
9.5.4 潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災(zāi)危險場所的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。
9.5.5 防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)分別按不同要求設(shè)置接地連接端子。在一個房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán)。
    在防靜電接地系統(tǒng)各個連接部位之間電阻值應(yīng)小于0.1Ω。
9.5.6 潔凈廠房內(nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計均應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則，其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線應(yīng)單獨絕緣敷設(shè)，并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜。
9.5.7 接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時接地電阻值應(yīng)小于或等于1Ω：選擇分散接地方式時，各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠(yuǎn)離防雷接地系統(tǒng)的接地體，兩者應(yīng)保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計規(guī)范》GB 50057的有關(guān)規(guī)定。