半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)不僅對潔凈度有著高要求，對溫濕度也有著高要求，那么，半導(dǎo)體無塵車間設(shè)計施工時如何保障溫濕度控制的呢?今天就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下吧!

　　半導(dǎo)體無塵車間通常采用新風空調(diào)箱+風機過濾單元+干冷盤管的設(shè)計，即新風空調(diào)箱將具有一定潔凈等級和溫濕度的新風送到潔凈室的回風通道中，與循環(huán)回風進行混合后進入潔凈室吊頂上方，通過風機過濾單元FFU后進入潔凈室生產(chǎn)區(qū)域，從而基本達到無塵室的溫濕度、潔凈度及正壓度的要求。由于整個潔凈室內(nèi)擺滿了各種生產(chǎn)機器，這些機器都保持持續(xù)的運轉(zhuǎn)，會產(chǎn)生大量的熱量，這些熱量又將通過回風通道內(nèi)的干盤管進行冷卻而被帶走，從而達到維持長時間穩(wěn)定的溫濕度環(huán)境。

　　對于半導(dǎo)體無塵車間的溫濕度控制，主要的兩塊是新風空調(diào)箱和干盤管。新風空調(diào)箱除了要保證外界大氣經(jīng)過其中的初、中和高效過濾網(wǎng)，把空氣中的粉塵顆粒過濾掉外，還要根據(jù)潔凈室里面的溫濕度情況調(diào)整出風口的溫濕度以保證送入的新風在規(guī)定的溫濕度范圍內(nèi)。而干盤管是根據(jù)潔凈室里面安裝的溫濕度傳感器測量的值來調(diào)整干盤管冷水閥的開度，進而調(diào)節(jié)回風和送風混合后的溫濕度，以保證滿足半導(dǎo)體工藝的溫濕度需求。

　　由于每種工藝制程設(shè)備的發(fā)熱量大不相同，導(dǎo)致半導(dǎo)體無塵車間內(nèi)的機臺發(fā)熱量分布不均勻，例如爐管機臺的發(fā)熱量相較于其他設(shè)備大得多(基本在3 -5倍之間)，因此必須在潔凈室內(nèi)用干盤管帶走這些熱量。通常要求同一制程的氣流經(jīng)過同一組DCC，在建筑已經(jīng)確定的情況下，制程的分布要與回風道垂直。如果條件允許，最好是將不同制程的區(qū)域隔開，這樣既可避免金屬粒子污染，又能提高溫濕度控制的穩(wěn)定性。

　　通常情況下，潔凈室的溫濕度控制在22+/-0.5°C，45%+/-3%RH，MAU 的送風溫度基本控制在21°C-21.5°C，在與循環(huán)風混合后，F(xiàn)FU 出風口的溫度控制在22°C，這樣，經(jīng)過工作層面后溫度將會再上升，在機臺滿載的情況下上升溫度會基本穩(wěn)定。